中科仪10月20日发布公告称，伴随国内集成电路产业快速发展，半导体装备核心零部件国产化需求持续攀升，集成电路干式真空泵市场空间稳步扩容。为顺应行业市场需求变化，匹配公司中长期经营发展战略，公司拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目。公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目，旨在提升干式真空泵核心零部件自主制造能力，降低外协依赖，优化产品成本结构，从而提升整体盈利水平。项目资金

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