今日半导体板块内部表现分化，芯片板块午后表现活跃，上游材料设备板块整体回调。截至收盘，上证科创板芯片设计主题指数上涨0.9%，中证芯片产业指数上涨0.1%，上证科创板芯片指数下跌0.4%，中证半导体材料设备主题指数下跌2.4%。同花顺iFinD数据显示，半导体设备ETF易方达今日获超3亿份净申购。