截至收盘，上证科创板芯片指数上涨3.5%，中证芯片产业指数上涨3.3%，上证科创板芯片设计主题指数上涨2.9%，中证半导体材料设备主题指数上涨2.6%。相关ETF中，半导体设备ETF易方达受资金青睐，5月，该ETF资金净流入合计超17亿元，居同标的ETF第一。

　　外资投行伯恩斯坦最新发布的研报显示，中国半导体设备国产化率已经从2024年的16%提升至2025年的21%，机构预计2026年将达到26%，2028年进一步提升至43%。未来三年，国产设备市场份额有望实现翻倍增长。