一家总部位于上海、具有国资背景的企业已启动浸没式深紫外光刻机的小批量生产，2026年计划产出约5台，2027年提升至20台，首批设备拟交付国内多家头部晶圆制造和存储芯片制造厂商。该设备可支持28nm芯片生产，通过多重曝光工艺可延伸至7nm制程。光刻机作为半导体设备中技术壁垒高、国产化率低的环节，此次量产突破标志着国内产业链自主可控迈出关键一步，国产替代空间或可期。

　　中信证券指出，AI正成为本轮全球半导体产业周期的核心驱动力，带动全球晶圆厂资本开支进入新一轮上行周期，先进逻辑以及先进存储正形成扩产共振，半导体设备行业景气度有望由周期修复迈向结构性成长阶段。该机构预测，2028年全球半导体设备市场规模将超过2900亿美元，而中国半导体产业景气度有望受益于AI与国产替代双重催化，预计2028年中国半导体设备市场规模有望接近1000亿美元。

　　科创半导体设备ETF华泰柏瑞跟踪指数为科创半导体材料设备指数，高纯度聚焦半导体上游“材料+设备”领域、行业累计占比高达87%，对晶圆厂资本开支、存储扩产和国产替代进程具有较高产业敏感度。同时该指数存储芯片概念占比超70%、“先进封装”概念占比58%。场外投资者可关注华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接基金。

　　半导体设备材料板块产业催化较为密集，投资者需关注高估值与交易波动风险。半导体设备板块估值已处于历史高位，交易结构较为拥挤，获利盘兑现及市场情绪回落可能引发较大波动。请投资者结合自身风险承受能力，理性判断，谨慎投资。

　　华泰柏瑞基金是国内首批ETF管理人，在指数投资领域深耕超19年，为投资者打造了沪深300ETF华泰柏瑞、A500ETF华泰柏瑞等投向透明、交易便捷、费率低廉的指数工具。截至2026年6月末，公司旗下ETF近两年累计为持有人盈利超1806亿元，是同期A股全市场仅有的三家累计盈利超1600亿元的公募基金公司之一。

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